电子厂根据自己所生产产品对生产车间洁净度的要求,建立不同洁净度级别(一般按每平方米所含灰尘粒子数量计算),建立和维护无尘车间的成本是很高的
根据洁净度不同分为100级(小于350个),1000级(小于3500个),10000级(小于35000个),100000级(小于350000个)。
所谓半导体电子洁净车间,指的是洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。
经验表明,对于高效过滤器,风速减少一半,粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9),风速增加一倍,透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。